其他回答

• 不确定你想得到什么样的答案，总得说，使用寿命不一样，需要配合的磁铁不一样，或者实际的溅射效率不一样，靶表面温度不一样。
  黄百花2019-12-22 00:08:31
• 如果有可能的话，最可能的是靶材利用率，磁控旋转靶材一般在两头的位置，磁场形成回路，磁场最强，这样，磁控溅射聚集更多的自由电子，形成较强的自维持放电现象。相对应的，最容易溅射，溅射速率增强，所以溅射速度较其他地方的溅射速率快，靶材消耗就快，最后形成两端凹陷。这样情况下，凹陷部分靶材最先用完，其他地方的靶材还没有用完，所以便有了靶材利用率一说。普通的平面靶材的利用率一般是旋转靶材的1/2左右。旋转靶材的利用率一般在60%左右。如果能达到100%的靶材利用率的，除了改变磁场强度的手段，就是改变靶材的结构。但是国内能达到100%的靶材利用率的好像没有，我老人家整的“狗骨头靶材”也只能说是接近100%。希望能把图片放上来看一眼，或者联系下我。我的Q是：460的976的991。
  窦道琴2019-12-21 23:58:40
• 金属靶的话，靶面和背板要平整，两者之间要绝缘，靶材和mask之间也要绝缘，金属的纯度要高。
  赵顺起2019-12-21 23:21:09